Microfabricated heaters for thin films TCR characterization

Autores
Molina, Tomás; Kramar, María Belén; Malatto, María Laura; Mangano, Eliana Gabriela; Lozano, Carlos Álex
Año de publicación
2025
Idioma
inglés
Tipo de recurso
artículo
Estado
versión publicada
Descripción
In this paper two designs of heaters for thin films TCR characterization are presented. During this process, its thermoelectric behavior was simulated with Ansys Mechanical. In addition, they were microfabricated on two different substrates and then characterized. From the simulation, the temperature distribution on the sample was obtained. Moreover, from the experimental characterization, temperature outputs were measured as a function of the power supplied. Taking that into account, the influence of the substrate material on the performance was studied.
Fil: Molina, Tomás. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Dirección Operativa. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Kramar, María Belén. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Dirección Operativa. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Malatto, María Laura. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Dirección Operativa. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Mangano, Eliana Gabriela. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Dirección Operativa. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías. Departamento de Micro y Nano Fabricación (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fil: Lozano, Carlos Álex. Instituto Nacional de Tecnología Industrial. Dirección Operativa. Gerencia Operativa de Desarrollo Tecnológico e Innovación. Subgerencia Operativa de Áreas de Conocimiento. Dirección Técnica de Micro y Nano Tecnologías (INTI-GODTeI-SOAC); Argentina
Fuente
Ibersensor, 13
Ibersensor 2024
Materia
Sensores
Películas delgadas
Termoelectricidad
Resistencia térmica
Temperatura
Simulación
Nivel de accesibilidad
acceso abierto
Condiciones de uso
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
Repositorio
Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI)
Institución
Instituto Nacional de Tecnología Industrial
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Acceder
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